老話有講：人有失足，馬有失蹄。在X熒光光譜儀測量時，需注意到有誤差的存在，我們需要的是認識到它，分辨它，盡量的規避它，使測量結果盡可能精確。由于產生誤差的原因不同，各種誤差具有不用的性質，顯示出不同的基本特征。通常我們將誤差分為系統誤差、隨機誤差與過失誤差三類。
1、系統誤差
由于在測定過程中某些固定的原因，造成測定結果經常性偏高或偏低，出現比較恒定的正誤差或負誤差，這種誤差成為系統誤差，也可以說是固定誤差、可測誤差，它是測定結果中的主要誤差來源。
特點：這種誤差在測定過程中按一定規律重復出現，并具有一定的方向性，表現為測定結果經常性偏高或偏低，增加測定次數并不能減少系統誤差。正因為系統誤差往往由確定的原因所造成，所以它可以被認識，也可以被修正，這樣我們可以使系統誤差得以消除或減少。
2、隨機誤差
隨機誤差又稱為偶然誤差或不可測誤差，它是在測定過程中一些難以控制的偶然因素所引起的。所謂偶然因素，是指對測定結果的影響變化不定，誤差時正時負，時大時小，這種誤差無法確定，無法校正。
隨機誤差在測定操作中總是不可避免，但隨著測定次數的增加，可以發現測定數據分布呈現以下規律。
對稱性：絕對值相等而符號相反的誤差出現的次數大致相等，也就是說，測定值以它們的算術平均值為中心呈對稱分布。
有界性：在一定條件的有限測定值中，其誤差絕對值不會超過一定界限。
單峰性：絕對值小的誤差出現的次數多，大誤差出現的次數少，特大誤差出現的次數更少，也就是說，隨機誤差以測定值的算術平均值為中心相對集中的分布。
抵償性：在一定條件下，對同一個量的測定，隨機誤差的算術平均值隨測定次數的增加而趨近于零。也就是說，隨機誤差平均值的基線值為零。
這上面所說的四個特性，就是隨機誤差的基本特性。
3、過失誤差
過失誤差的存在，其實就是認為的疏忽造成的，是在測定過程中，由于認為的差錯，使用不合格的計量器具或再不符合標準規定的條件下所產生的誤差。
過失誤差無一定的規律性，含有過失誤差的測定結果，反映其數據呈現異常偏大或偏小。只要嚴格地執行有關標準，在測定中仔細小心地操作，過失誤差是不難避免的。