X熒光光譜儀作為分析實驗室常用的一款儀器，根據檢測素材的不同，選擇合適自己的儀器。真空型X熒光光譜儀，相比普通型，其性能更好，但因為真空系統的存在，其維護也稍顯復雜。
例如，創想儀器的EDX-9000真空型X熒光分析儀，配備真空測試系統，其有效增加了元素測試范圍，探測器配備SDD的測試系統，特別是提高了Na、Mg、Al、Si 等輕元素的檢出限，提高了精確度，同時在測試 Cd/Pb/Cr/Hg/Br/Cl 等其他元素的重復性穩定性有了明顯的提高。
真空系統是X熒光分析儀的重要組成部分。儀器工作時，光譜室被抽成真空狀態以減少空氣對X射線的干擾，提高儀器的分辨率。
真空系統容易出問題的地方主要有3部分：真空泵、樣品室、光譜室。分析樣品時，在快門打開之前真空泵是與樣品室相通的。當采用壓片法進行分析時，由于抽真空會使一部分粉末抽到樣品室內，因此應該定期（一個季度一次）對快門臺和樣品室進行拆卸和清洗。另外，由于X射線的長期照射，快門的O形密封環會慢慢失效，因此需要一年更換一次。光譜室常見的漏氣部位是流氣計數器，流氣計數器安裝在光譜室內，如果它的窗膜很薄、漏氣，就會影響光譜室真空。對于真空泵主要是應該定期檢查真空泵油的油質和油量，檢查油質時如果有白色或黑色就說明油質不正常，應該立即更換泵油。
此外在檢查真空故障，拆卸和安裝各部件時要小心操作，不要讓灰塵或頭發掉到密封圈上，以避免產生新的漏氣點，安裝時可以在密封部位涂一點真空油脂。
真空型X熒光光譜儀，使用戶的樣品檢測提供了更多的數據，提高了多種元素的檢出限。