臺式X熒光光譜儀在檢測固體樣品的時候，固體樣品的表面是需要做處理的，原因，你可以往下看：
我們得到的固體樣品有時候并不能代表整個樣品塊，這時候所必須要做的就是分析，是表面需要測試還是整個材料的分析，或者說是里外的材料都是要分析的。
另外，各個樣品的表面結構和表面成分很難保證都相同。在進行表面處理時，可能帶走夾雜物，致使該成分的分析結果偏低。表面可能被沾污或帶上磨料，必須除去所有微量磨料、潤滑劑和切割用的冷卻劑。
被測樣品表面進行預處理
使用氧化鋁、碳化硅和氧化鈰磨料時，樣品表面可能會沾上這些元素。如果磨料是撒在包鉛或包錫的拋光輪上，樣品表面可能會沾上鉛、錫這些元素。必須從樣品表面除去氧化物和其他腐蝕物，而且需要有一定的光潔度。樣品的光潔度直接影響測得的X 射線強度，一般光潔度越高強度越大。輕元素對此尤其敏感。像AlKα、MgKα等光潔度zui好在20~50μm，而短波重元素100μm 也能滿足分析要求。
分析線的強度和研磨面的方向有關，入射線和出射線構成的平面和磨面研磨方向平行時吸收zui小，垂直時吸收zui大。采用樣品旋轉就能使這影響平均化。實質上，表面的光潔度不一樣時入射的一次X 射線和熒光X 射線的光程隨表面磨紋的粗細而改變。
所以說樣品表面的處理是非常重要的。
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