在我們使用臺式熒光光譜儀時候，需要注意到使用時有一定的干擾問題，言而簡之就是會對檢測結果產生影響，數據就不會準確。那這些會造成數據不正的干擾有哪些？
1.在熒光光譜儀分析中，某些元素間可能有全部或者部分譜線重疊?；緟捣匠桃笫褂脹]有受到譜線重疊影響的凈強度。在這些方程中包含某些經驗的修正。
2.在分析中，在某些元素間可能存在元素間干擾或者基體效應。來彌補這些效應的經驗方式就是制備一系列校正標樣的曲線，濃度范圍涵蓋要分析的范圍。此時需要仔細設計的參考物質。就是所有不需要分析的元素的含量固定，而要分析的元素濃度不同。這就是所謂基體匹配。當然，在熒光光譜儀分析中可使用數學方法來彌補元素間或者基體的效應。
3.干擾也可能來自康普敦譜線或者X射線管中靶材所產生的特征譜線，這些通過使用濾光輪去除，但同時也可能導致分析譜線強度的降低。
4.熒光光譜儀分析中，干擾也可能來自金相結構的誤差，由于分析目標元素的密度受到樣品的質量吸收系數的影響，而且數學模型假設的是均質物質，由此帶來誤差。例如，在含有碳和碳化物的鋼材中，鈦和鎳可能以鈦鎳化碳合物的方式存在，相比鐵對于鈦的K-a譜線來講，其具有較低的質量吸收系數，鈦的密度高于這個樣品。
5.對于熒光光譜儀由于分析的固體進樣性質，以及樣品表面的性質可能與標樣的差異，導致分析的偏差。
實驗室檢測
綜合以上對熒光光譜儀檢測會產生分析干擾的問題，我們不難看出一個特點，就是說樣品和標樣差異性越大，所造成的檢測誤差就越大，在這邊我們說的樣品和標樣的差異性，包括了以下幾點：基體物質的物理化學性能，例如前面所言的密度，結構，成份組成以及濃度，表面情況，甚至樣品中待測試元素的含量是否在標樣范圍內，每次樣品放置的位置等。這些方面都會造成檢測數據的不穩定。