在X熒光光譜儀中，主要的元器件中，X射線管和靶材都是十分重要的，所以對于選擇X射線管和靶材需要慎重，那X射線管和靶材都應該如何選擇，請看下面：
為了獲得試樣的最佳激發，在選擇X射線管和靶材時，必須考慮幾個彼此相關的因素。
一?
僅有幾種元素具備作X射線管靶的熱導性和機械性能。鎢是最常用的靶材，因其具備高熔點和良熱導性，易于冷卻，而且原子序數很高，能產生高強度光譜。鉑、鉬、銀、銅、鐵、鉻等元素也適宜作靶材，但與鎢相比，操作功率受到了較大的限制。
既然鎢能承受較大的功率，又能產生較強的光譜，何不加以廣泛的應用呢？其中一個原因是W L系譜線直接千擾試樣中許多元素的K系或L系特征譜線。原因之二是考慮到采用其他靶材的特征譜線，能提高試樣中某些元素的激發效能。例如：用銀靶激發鉬，銅靶激發鐵，銀的L系譜線激發氯和硫，鉻靶激發鈦等元素時，都有很理想的效果。因此，如果需要對同種元素系統進行重復分析，則應選擇激發效率最高的靶。
二
在激發低原子序數的元素時，X射線管窗口的厚度特別關鍵。例如激發硫時，由于一次輻射光譜中的有效部分受鈹的吸收，故采用0.254mm厚的鈹窗時，激發效率較用1.01mm厚的鈹窗高250倍。但是薄的鈹窗容易破損，而且價格昂貴，使用壽命也短。因此，在測定鉻以后的元素時，宜用普通窗口的X射線管。
三
在某X射線管的結構中，焦斑偏離靶中心，緊靠窗口。這樣可以增加有效強度，因為一次輻射被試樣截取的立體角與試樣到焦斑的距離平方成反比。當試樣位于窗前2cm時，如焦斑向窗口移近2cm，則輻射強度可提高2.8倍。這種結構的X射線管不能像普通型X射線管那樣在高功率下工作，其原因是窗口區極易發熱。另外，由燈絲蒸發出來的鎢大量聚積于窗口上，使用日久，便引起有效強度的迅速下降。
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四
有些光管具有復合靶，如鎢和鉻。這樣便于根據不同的試樣，需要選擇最適宜的靶材。
所以，從這四點講述完，你不難發現，其實在使用X熒光光譜儀時，并不是所有的X射線管都直接適合所有的分析檢測工作。目前，理想的X射線管就是標準鎢靶管、薄窗鉻靶管和鎢鉻復合管。