X熒光光譜分析儀，廣泛應用于冶金、水泥、高校等領域，可以對樣品進行快速定性和定量分析，為化學分析提供一種快速物料檢驗方法。X熒光光譜儀也有真空型系列，由于是在高真空度環境下進行檢測，分光室真空度的好壞對其檢測的速度和精度影響較大。下面就為大家帶來的是常規的真空泄漏故障的處理方法：
在待機狀態下真空值較高
1.分光室真空度達到或超過15 Pa儀器在待機狀態時分光室真空系統真空度要保證≤15 Pa，超過就需要拆卸試樣室，清理真空系統，必要時更換光閘O形環。當真空度>15Pa時，在排除真空泵故障的情況下，試樣室閥漏氣的可能性最大，其次應檢查停電進氣閥是否關閉不嚴、快門O形環是否老化。
2.待機狀態下真空值總在40 Pa左右待機狀態下真空度總在40 Pa左右，而且Pr氣（一氧化碳和甲烷的混合氣體）壓力穩定不住時，就要考慮FPC（正比流氣計數器）的鈹窗是否破損泄漏，此時應關閉Pr氣，給分光室放氣，然后關機拆卸分光室，更換鈹窗。由于鈹窗非常薄，容易破損，如果沒有更換經驗，最好請廠家工程師指導更換。
創想GLMY EDX-6000型X熒光光譜儀
在試樣進入試樣室后真空度下降速度慢
此狀態真空變差，在排除試樣室進氣閥和停電進氣閥關閉不嚴的情況下，可確定試樣室漏氣。應維護清潔試樣室，檢查試樣室各個O形環及試樣臺上的小黃色密封環是否老化破損。