在X熒光光譜儀分析過程中，多種干擾因素會對分析結果的準確性產生影響，了解這些干擾并采取相應措施至關重要。
元素間的譜線重疊是常見的干擾之一。某些元素的譜線可能全部或部分重疊，而基本參數方程需要未受譜線重疊影響的凈強度，雖方程中包含經驗修正，但仍難以完全消除影響。
X熒光光譜儀?的檢測分析
元素間干擾和基體效應也不容忽視。不同元素間可能存在相互作用，基體成分也會對分析結果產生干擾。為彌補這些效應，通常會制備一系列校正標樣曲線，其濃度范圍覆蓋待分析范圍。這就需要精心設計參考物質，固定非分析元素含量，改變分析元素濃度，實現基體匹配。此外，也可借助數學方法彌補元素間或基體效應。
康普敦譜線和X射線管靶材產生的特征譜線也會帶來干擾。這些干擾可通過使用濾光輪去除，但同時可能導致X熒光光譜儀分析譜線強度降低，影響分析靈敏度。
金相結構誤差同樣會產生干擾。X熒光分析儀分析目標元素的密度受樣品質量吸收系數影響，而數學模型假設物質是均質的，實際情況與假設的偏差會帶來誤差。例如在含碳和碳化物的鋼材中，鈦和鎳可能以鈦鎳化碳合物形式存在，其質量吸收系數與鐵不同，導致鈦的密度與樣品整體情況不符，進而影響分析結果。
固體進樣性質以及樣品表面性質與標樣的差異也會導致分析偏差。樣品與標樣的不同性越大，誤差越大，這種不同性涵蓋基體物質的物理化學性能，如密度、結構、成分組成和濃度，還包括表面狀況、待測試元素含量是否在標樣范圍內以及樣品放置位置等。
X熒光光譜儀分析中的干擾因素復雜多樣，只有充分認識并有效控制這些干擾，才能提高分析結果的準確性和可靠性。