X熒光光譜儀分為波長X熒光光譜儀和能量色散X熒光光譜儀，其中X射線管作為激發樣品的重要光源。
X射線管是一種高壓真空二極管，它包括發射電子的陰極和一個接收電子的陽極（靶）。由燈絲加熱鎢絲，產生的電子云在陽極和燈絲間所加電位差的作用下，沿聚焦管被加速飛向陽極靶，所獲X射線的很大一部分穿過窗口射出。陰極套用與吸收無用的散射電子并擋住從燈絲發出的鎢擴散。
為盡可能減少管窗對X射線的吸收，窗口用輕元素鈹制成，為提高長波X射線的透射率，還應使用盡可能薄的鈹窗。鈹窗的厚度取決于靶原子系數，鎢靶窗通常厚1~2mm，鉻靶窗可薄至0.2~0.5mm。
創想儀器?能量色散型X熒光光譜儀
波長色散X射線熒光光譜儀的X射線管有以下特點：
小功率化：X射線管的小功率化不僅使X射線管自身的體積縮小，而且無需外冷卻水循環系統。用于波長色散X射線熒光光譜儀的X射線管功率已減至1kV或更低。
鈹(Be)窗超薄化：X射線管的鈹窗厚度一般為 75~ 125μm，有的X射線管的鈹窗厚度僅有30μm，這樣大大提高了初級X射線的透射率；
X光管端窗“超銳”化：這種“超銳”X射線管外形獨特，頭部尖細，內部采用陶瓷絕緣，其設計更加緊湊、合理、精確。窗口至樣品的距離較常規端窗管短（約16mm），大大提高了X射線輻照強度。而且，由于采用優良的絕緣和長壽命的燈絲，延長了X射線管的使用壽命。
X光管雙靶化：為了使輕重元素都能獲得ZUI佳激發效率，一些儀器廠家將X光管設置成雙靶型。
X射線管，作為X熒光光譜儀中的激發樣品的單元，是一個重要的零部件。